-
1 химическое осаждение из паровой фазы
(CVD)Химическое осаждение из паровой фазыМетод нанесения покрытий, в котором химические вещества сначала испаряются, а затем осаждаются на поверхность с помощью инертного газа-носителя, такого как азот. Например, осаждение металла проводится путем термического разложения его летучих соединений. CVD-процессы могут поддерживаться с помощью плазмы (PECVD = Plasma Enhanced CVD, усиленное плазмой CVD) или инициироваться ею (PACVD = активированное плазмой CVD). В качестве важных применений плазменных CVD-процессов выступают осаждение пленок аморфного углерода и кремния, а также пленок нитрида титана, карбида титана или нитрида кремния.Russian-English dictionary of Nanotechnology > химическое осаждение из паровой фазы
-
2 химическое осаждение из паровой фазы
химическое осаждение из паровой фазы
Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы
-
3 химическое осаждение из паровой фазы
Терминологический словарь "Металлы" > химическое осаждение из паровой фазы
-
4 химическое осаждение из паровой фазы
1) Engineering: (газовой) chemical vapor deposition, chemical vapor deposition2) Electronics: chemical vapor plating3) Microelectronics: cvd, chemical vapour depositionУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы
-
5 химическое осаждение из паровой фазы
adjmicroel. CVD, Foto-CVD, chemische DampfabscheidungУниверсальный русско-немецкий словарь > химическое осаждение из паровой фазы
-
6 химическое осаждение из паровой фазы
Русско-английский физический словарь > химическое осаждение из паровой фазы
-
7 химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном выращивании очень тонких пленок полупроводников III-V.
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
-
8 химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD).
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
-
9 химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении
[ http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
-
10 химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении
химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении
—
[А.С.Гольдберг. Англо-русский энергетический словарь. 2006 г.]Тематики
EN
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении
-
11 химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
Русско-английский словарь нормативно-технической терминологии > химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности
-
12 химическое осаждение из паровой фазы в сверхвысоком вакууме
Microelectronics: ultrahigh vacuum cvdУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы в сверхвысоком вакууме
-
13 химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
Engineering: (газовой) metal-organic chemical vapor deposition, metal-organic chemical vapor depositionУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений
-
14 химическое осаждение из паровой фазы методом горячей стенки
Engineering: (газовой) hot-wall chemical vapor deposition, hot-wall chemical vapor depositionУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы методом горячей стенки
-
15 химическое осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединении
Универсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединении
-
16 химическое осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений
Makarov: metallo-organic chemical vapor deposition( MOCVD)Универсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений
-
17 химическое осаждение из паровой фазы на охлаждённую подложку
Microelectronics: cryogenic cvdУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы на охлаждённую подложку
-
18 химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
1) Electronics: atmospheric-pressure chemical vapor deposition2) Microelectronics: atmospheric pressure cvdУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
-
19 химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
Microelectronics: low-pressure cvdУниверсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
-
20 химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении
1) Engineering: low-pressure chemical vapor deposition2) Makarov: low-pressure chemical vapor deposition( LPCVD)Универсальный русско-английский словарь > химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении
См. также в других словарях:
химическое осаждение из паровой фазы — Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]… … Справочник технического переводчика
Химическое осаждение из паровой фазы — 1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) процесс нанесения внешнего покрытия или покрытия с модификацией поверхности подложки, когда металл, сплав, композиционный материал, диэлектрик или керамика осаждается на нагретую подложку.… … Официальная терминология
химическое осаждение из паровой фазы — Chemical Vapor Deposition (CVD) Химическое осаждение из паровой фазы Метод нанесения покрытий, в котором химические вещества сначала испаряются, а затем осаждаются на поверхность с помощью инертного газа носителя, такого как азот. Например,… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
химическое осаждение из паровой фазы — cheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase, f rus. химическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition chimique en phase vapeur,… … Radioelektronikos terminų žodynas
химическое осаждение из паровой фазы металлоорганических соединений — Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором используются металлоорганические соединения, термически разлагающиеся при температурах более низких, чем другие металлосодержащие соединения; метод часто используется при эпитаксиальном… … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении — Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD).… … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении — Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN LPCVDLow Pressure Chemical Vapor Deposition … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении — — [А.С.Гольдберг. Англо русский энергетический словарь. 2006 г.] Тематики энергетика в целом EN low pressure chemical vapor depositionLPCVD … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы с плазмой высокой плотности — — [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN HDPCVD … Справочник технического переводчика
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении — cheminis garinis nusodinimas atmosferos slėgyje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. atmospheric pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck, f rus. химическое… … Radioelektronikos terminų žodynas
химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении — cheminis garinis nusodinimas mažesniame slėgyje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reduced pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei reduziertem Druck, f rus. химическое осаждение из… … Radioelektronikos terminų žodynas